激光共聚焦顯微鏡主要系統包括些什么？

　　激光共聚焦顯微鏡可用于準確可靠的三維(3D)測量，實時共聚焦顯微鏡圖像可以通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現。這是用于測量和檢查微3D結構的有前途的解決方案，例如半導體晶片、FPD產品、MEMS設備、玻璃基板和材料表面。

　　激光共聚焦顯微鏡采用高級光學系統，可通過無損觀察產生高質量圖像，進行精細的3D測量。制備操作也非常簡單，無需對樣品進行預處理。是在傳統光學顯微鏡的基礎上，利用激光為光源，利用共軛聚焦原理和裝置，通過計算機對被觀察物體進行數字圖像處理的一套觀察、分析和輸出系統。主要系統包括激光光源、自動顯微鏡、掃描模塊（包括共焦光路通道、針孔、掃描鏡和探測器）、數字信號處理器、計算機和圖像輸出設備（顯示器、彩色打印機）等。

　　激光共聚焦顯微鏡配備兩套光學系統（彩色成像光學系統和激光共焦光學系統），可獲取顏色信息、高度信息和高分辨率圖像。405nm紫色激光和高數值孔徑物鏡可以捕捉到傳統光學顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發現的精細紋理和缺陷。簡單的分析功能可以僅在測量范圍內測量步長、線寬、表面粗糙度和體積。自動檢測測量結果變化的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值），保持測量結果穩定，不受操作者技能水平的影響。