激光三維表面輪廓儀是一種用于各種精密器件和材料表面亞納米測(cè)量的測(cè)試儀器,基于白光干涉技術(shù)原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊和3D建模算法,對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描,建立表面3D圖像,通過對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行處理和分析。系統(tǒng)軟件,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D和3D參數(shù),實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造與封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納米材料與制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè),以及航空航天、國(guó)防以及軍工、科研院所等領(lǐng)域。可測(cè)量從超光滑到粗糙,低反射率到高反射率,從納米到微米的各種工件表面的粗糙度、平面度、微觀幾何輪廓、曲率等。
1、具有3D輪廓重建和各類樣品表面微觀形貌測(cè)量功能;
2、具有表面粗糙度和微觀輪廓檢測(cè)功能,粗糙度范圍從0.1nm到幾十微米;
3、具有校平、去形、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能;
4、具有粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能;
5、自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)??測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)功能;
6、具有一鍵分析、多文件分析等快速批量分析功能。
激光三維表面輪廓儀3D激光掃描頭可以在任何類型的物體表面采集數(shù)百萬個(gè)精確點(diǎn)數(shù)據(jù),從啞光黑色表面到高反射表面,甚至碳纖維表面,無需任何特殊預(yù)處理。是一種先進(jìn)的、應(yīng)用廣泛的非接觸式3D激光掃描核心設(shè)備。具有適用性廣、掃描范圍大、精度高、速度快、性價(jià)比高等特點(diǎn)。
在CF4激光共焦傳感器中,被照亮的小孔在被測(cè)表面上成像。激光束通過物鏡快速上下移動(dòng)并聚焦在被測(cè)物體上。只有當(dāng)焦平面與真實(shí)表面上的點(diǎn)配對(duì)時(shí),探測(cè)器才會(huì)記錄表面信號(hào)。因此,物鏡必須移動(dòng)一個(gè)小的垂直步長(zhǎng),以便通過位移傳感器的位置移動(dòng)來測(cè)量信號(hào)。根據(jù)特殊的插值技術(shù),系統(tǒng)精度可達(dá)10納米以下。
激光三維表面輪廓儀的應(yīng)用:
?1、集成電路封裝和表面貼裝:快速獲取封裝翹曲、引線共面度、粗糙度、焊錫量和引線輪廓。
?2、厚膜混合電路:自動(dòng)測(cè)量膜厚。
?3、精密零件:測(cè)量精密五金配件、塑料、半導(dǎo)體材料的輪廓和粗糙度。