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    大型非接觸式3D激光掃描儀測量低維材料真有一套

    更新時間:2022-08-09      點擊次數:927
      大型非接觸式3D激光掃描儀是一款準確可靠的三維(3D)測量高速共聚焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微鏡圖像。它在測量和檢測微型三維結構方面擁有理想的解決方案,例如半導體晶圓、FPD產品、MEMS器件、玻璃基板和材料表面。
      
      大型非接觸式3D激光掃描儀能有效處理不一致性問題,讓用戶不再為成本增加、生產和零件審批延遲而煩惱。該系統可用于生產工具、夾具、配件、半成品或成品的逆向工程和尺寸檢測。測量尺寸在0.2M~6m之間,精度可達0.064mm。采用光學測量方式,測量精度不易受環境變化影響。因此,它是車間質量控制測量解決方案的選擇。它不需要固定的測量設置,無論環境發生什么變化都不會影響其性能水平。可以幫助操作人員更好地管理生產過程,更快地滿足制造業對質量控制(QC)的更高要求,同時不影響生產效率。
     
      

    大型非接觸式3D激光掃描儀
     

     

      大型非接觸式3D激光掃描儀是測量低維材料的有前途的解決方案。它可以測量微米和亞微米結構的高度、寬度、角度、面積和體積,例如:
      
      1、半導體:IC圖形、凸點高度、線圈高度、缺陷檢測、CMP工藝。
      
      2、FPD產品:觸摸屏檢測、ITO圖案、LCD列間距高度。
      
      3、MEMS器件:結構3D輪廓、表面粗糙度、MEMS圖形。
      
      4、玻璃表面:薄膜太陽能電池、太陽能電池紋理、激光圖案。
      
      5、材料研究:模具表面檢測、粗糙度、裂紋分析。
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